广东省真空学会发布《半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法》团体标准

2022年5月27日，广东省真空学会根据《广东省真空学会团体标准管理办法》规定，批准发布T/GVS 006—2022《半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法》团体标准，标准于2022年5月27日起实施。

《半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法》规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。该标准适用于电气工作频率在100 kHz～3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。

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