欧洲EMPIR项目开发出用于高真空测量的新型电离计

高真空和超高真空被用于尖端材料研究和微电子生产中。电离计是用来测量此类真空环境下压力的唯一方法。制造电离计使用的不同方法，以及电离过程中使用的不同气体，导致不同电离计之间的相对灵敏度系数有很大差异，而且都缺乏长期稳定性。这些制造方法的性能可以通过标准化来大大改善。

2020年12月28日消息，最近完成的欧洲创新与研究计量计划（EMPIR）项目“为电离真空计制定文件标准”（Towards a documentary standard for an ionisation vacuum gauge，16NRM05）致力于为改良后并已标准化的电离计规定所有相关参数。这些技术成果将为关于电离计的新ISO标准提供参考依据。

该项目开发了一个具有标准功能和性能的标准化电离计，这意味着它可以用来实现测量的可追溯性。

该电离计将供校准实验室使用，为校准实验室提供一个可靠的参考标准，并允许电离真空计的制造商按照即将出台的ISO技术规范生产该真空计，这将是一个新的工作组的主题，也是EMPIR的一个新项目“开发一项ISO技术规范‘稳定电离真空计的特征’”（Developing an ISO Technical Specification "Characteristics for a stable ionisation vacuum gauge，20SIP01，ISO量具）。

本新闻由广东省WTO/TBT通报咨询研究中心摘录/编辑/整理并翻译，转载请注明来源。

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