广东省真空学会发布《真空表面处理工艺用离子源》等3项团体标准

2021年6月28日，根据《广东省真空学会团体标准管理办法》规定，广东省真空学会批准发布《真空表面处理工艺用离子源》3项团体标准，并于发布之日起实施。标准编号和名称如下：

（1）T/GVS 001—2021《真空镀膜设备电磁兼容  屏蔽与辐射安全技术规范》

（2）T/GVS 002—2021《高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求》

（3）T/GVS 003—2021《真空表面处理工艺用离子源》

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