ISO发布关于表面化学分析的测定方法

　　2019年1月，国际标准化组织（ISO）发布了在成像表面化学分析中测量横向分辨率和明锐度的方法ISO 18516: 2019。它适用于所有使用光束在已设置好的仪器下分析表面化学成分的表面分析方法。同时它也适用于能在预先选定的视场中用精细聚焦光束对样品能进行扫描的扫描仪器，以及能让视场同时被宽光束、成像透镜系统和像素化检测器成像的全场成像仪器。测量横向分辨率和明锐度的方法如下：

　　－直线边缘法（the straight edge method）；

　　－窄线法（the narrow line method）；

　　－光栅法（the grating method）。

　　该标准适用于提供纳米厚度层信息的仪器和方法，也适用于具有纳米尺寸结构和独立纳米物体的表面。

　　本新闻由广东省WTO/TBT通报咨询研究中心摘录/编辑/整理并翻译，转载请注明来源。
　　更多详情请见：https://www.iso.org/standard/63863.html